Název: Studium asymetrických vyhlazených mřížek vytvořených elektronovou litografií
Překlad názvu: Study of asymmetric blazed gratings created by electron beam lithography
Autoři: Brunn, Ondřej ; Urbánek,, Michal (oponent) ; Krátký, Stanislav (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2017
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]

Klíčová slova: ASYMETRICKÁ MŘÍŽKA; DIFRAKČNÍ OPTICKÉ PRVKY; ELEKTRONOVÁ LITOGRAFIE; KOREKCE PROXIMITY EFEKTU.; ASYMMETRIC GRATING; DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS; ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY; PROXIMITY EFFECT CORRECTION.

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/62319

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-255814


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce
 Záznam vytvořen dne 2016-09-20, naposledy upraven 2022-09-04.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet