Název: Studium asymetrických vyhlazených mřížek vytvořených elektronovou litografií
Překlad názvu: Study of asymmetric blazed gratings created by electron beam lithography
Autoři: Brunn, Ondřej ; Urbánek,, Michal (oponent) ; Krátký, Stanislav (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2017
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá tvorbou vyhlazených asymetrických mřížek s užitím elektronové litografie. Popisuje kompletní postup od přípravy struktur v softwaru, následnou expozici elektronovým litografem až po vyvolání a analyzování kvalitativních i kvantitativních charakteristik vytvořených mřížek. Tyto výsledky jsou následně porovnány s analytickým výpočtem a numerickou simulací. This work deals with fabrication of asymmetric blazed gratings by electron beam lithography. It describes the whole process of structures preparing in software, followed by exposure carried out by an electron beam writer, and it finishes by creating and analysing both qualitative and quantitative characteristics of the fabricated gratings. These results are then compared with analytic calculation and numeric simulation.
Klíčová slova: ASYMETRICKÁ MŘÍŽKA; DIFRAKČNÍ OPTICKÉ PRVKY; ELEKTRONOVÁ LITOGRAFIE; KOREKCE PROXIMITY EFEKTU.; ASYMMETRIC GRATING; DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS; ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY; PROXIMITY EFFECT CORRECTION.

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/62319

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-255814


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce