Název:
Vliv pracovních podmínek v environmentálním SEM na výsledky EDS
Překlad názvu:
Influence of working conditions on results of EDS analysis in environmental SEM
Autoři:
Kaplenko, Oleksii ; Chladil, Ladislav (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2016
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Bakalářská práce obsahuje princip funkce environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu (ESEM), problematiku detekce charakteristického rentgenového záření metodou energiově disperzní spektroskopie. Popisuje detekci rentgenového záření pomocí silicon drifted detektoru a také princip kvalitativní a kvantitativní rentgenové mikroanalýzy. Cílem této práce je studium vlivu pracovních podmínek v rastrovacím elektronovém mikroskopu VEGA3 XMU vybaveného Xflash 6 | 10 spektroskopem na výsledky rentgenové mikroanalýzy a jejich vyhodnocení.
The bachelor thesis contains an operating principle of the environmental scanning electron microscope (ESEM), issue of detection of characteristic X-Ray by using an energy dispersive spectroscopy method. The work describes detection of X-rays through silicon drifted detector, and also the principle of qualitative and quantitative X-ray microanalysis. The aim of this work is to study the influence of working conditions in the scanning electron microscope VEGA3 XMU equipped with Xflash 6 | 10 spectroscope on the results of X-ray microanalysis and their evaluations.
Klíčová slova:
charakteristické rentgenové záření; energiově disperzní spektroskopie; environmentální rastrovací elektronový mikroskop; prvková analýza.; Rastrovací elektronový mikroskop; silicon drifted detektor; characteristic X-Ray; element analysis.; energy dispersive spectroscopy; environmental scanning electron microscope; Scanning electron microscope; silicon drifted detector
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/61604