host ::
| Hlavní stránka > Konferenční materiály > Příspěvky z konference > Bandpass filter for secondary electrons in SEM - simulations |
Název:
Bandpass filter for secondary electrons in SEM - simulations
Autoři: Konvalina, Ivo ; Mika, Filip ; Krátký, Stanislav ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr (CZ), 20160529
Rok: 2016
Jazyk: eng
Abstrakt: Scanning electron microscope (SEM) is commonly equipped with a through-the-lens secondary electron detector (TLD). The TLD detector in Magellan 400 FEG SEM works as a bandpass filter for the special setup of potentials of electrodes inside the objective lens, the positive potential on the specimen regulates the energy window of the filter. An energy filtered image contains additional information to that of an unfiltered one. The contrast of the filtered image is changed and new information about the topography and the material can be observed.\nTo understand image contrast formation with TLD detector we traced SEs and BSEs through the three-dimensional (3D) model of included 3D distribution of the electrostatic and magnetic fields. The properties of the bandpass filter were simulated for a working distance (WD) in the range of 1 mm to 3 mm and a primary beam energy (EP) from 1 keV to 10 keV.\nThe 3D electrostatic field of the system was calculated by Simion, magnetic field and raytracing were done using EOD program.
Klíčová slova: scanning electron microscope; TLD detector
Číslo projektu: TE01020118 (CEP), LO1212 (CEP), ED0017/01/01
Poskytovatel projektu: GA TA ČR, GA MŠk, GA MŠk
Zdrojový dokument: Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-87441-17-6
Poznámka: Související webová stránka: http://www.trends.isibrno.cz/
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0260335
Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-253623
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
Autoři: Konvalina, Ivo ; Mika, Filip ; Krátký, Stanislav ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr (CZ), 20160529
Rok: 2016
Jazyk: eng
Abstrakt: Scanning electron microscope (SEM) is commonly equipped with a through-the-lens secondary electron detector (TLD). The TLD detector in Magellan 400 FEG SEM works as a bandpass filter for the special setup of potentials of electrodes inside the objective lens, the positive potential on the specimen regulates the energy window of the filter. An energy filtered image contains additional information to that of an unfiltered one. The contrast of the filtered image is changed and new information about the topography and the material can be observed.\nTo understand image contrast formation with TLD detector we traced SEs and BSEs through the three-dimensional (3D) model of included 3D distribution of the electrostatic and magnetic fields. The properties of the bandpass filter were simulated for a working distance (WD) in the range of 1 mm to 3 mm and a primary beam energy (EP) from 1 keV to 10 keV.\nThe 3D electrostatic field of the system was calculated by Simion, magnetic field and raytracing were done using EOD program.
Klíčová slova: scanning electron microscope; TLD detector
Číslo projektu: TE01020118 (CEP), LO1212 (CEP), ED0017/01/01
Poskytovatel projektu: GA TA ČR, GA MŠk, GA MŠk
Zdrojový dokument: Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-87441-17-6
Poznámka: Související webová stránka: http://www.trends.isibrno.cz/
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0260335
Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-253623
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
Záznam vytvořen dne 2016-07-19, naposledy upraven 2022-09-29.