Název: Ionizační detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Překlad názvu: Ionization detector for environmental scanning electron microscope
Autoři: Melechovský, Ondřej ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2014
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Předkládaná práce se zabývá environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Na začátek je stručně popsána stavba přístroje. Důležitá část práce je věnována interakcím elektronů se vzorkem a signálům vystupujícím ze vzorku. Zejména se práce soustředí na detekci sekundárních elektronů pomocí ionizačního detektoru. Experimentálně je v práci určen vliv pracovních podmínek a velikosti elektrodového systému ionizačního detektoru na velikost detekovaného signálu. Presented work deals with environmental scanning electron microscopy. The construction of the device is described concisely in the beginning. Important part is devoted to interaction of electrons with specimen and signals emitted from the specimen. The work aims especially at detection of secondary electrons using the ionization detector. Experimentally is determined effect of working environment and size of electrode system of ionization detector on detected signal.
Klíčová slova: Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; inoizační detektor; sekundární elektrony; velikost elektrodového systému; zpětně odražené elektrony; úroveň signálu; backscattered electrons; Environmental scanning microscope; ionization detector; secondary electrons; signal level; size of electrode system

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/34157

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-244424


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce