Název: Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem
Překlad názvu: Low power MEMS heating membrane
Autoři: Svatoš, Vojtěch ; Pekárek, Jan (oponent) ; Hubálek, Jaromír (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2012
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Cílem této práce je realizovat MEMS topnou membránu s nízkým příkonem. Práce obsahuje základní body návrhu a přehled technologií, které jsou určeny pro výrobu těchto topných elementů. Jako výchozí struktura pro realizaci topné membrány byl vybrán typ závěsné membrány. Na závěr této práce je uveden detailní technologický postup, který byl použit při výrobě finálních struktur a experimentální ověření odolnosti proti teplotnímu namáhání. The aim of this thesis is to create the MEMS heating membrane with low power consumption. This work includes the main of design and fabrication processes of these heating elements. It was decided that the final sample will be created as suspended membrane type of the structure. It the end of the thesis there is detailed overview of the whole fabrication processes used for fabrication of final samples and the experiment to prove the resistance due to thermal stress.
Klíčová slova: depozice tenkých vrstev; křemík; leptání; litografie; Mikro-elektro-mechanické systémy; senzor; topné membrány s nízkým příkonem; uzavřená membrána; vyhřívání.; závěsná membrána; closed-type of membrane; etching; heater.; lithography; low power heating membranes; Micro-electro-mechanical systems; sensor; silicon; suspended type of membrane; thin layers deposition

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/12298

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-243092


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce