Original title: Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem
Translated title: Low power MEMS heating membrane
Authors: Svatoš, Vojtěch ; Pekárek, Jan (referee) ; Hubálek, Jaromír (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2012
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Cílem této práce je realizovat MEMS topnou membránu s nízkým příkonem. Práce obsahuje základní body návrhu a přehled technologií, které jsou určeny pro výrobu těchto topných elementů. Jako výchozí struktura pro realizaci topné membrány byl vybrán typ závěsné membrány. Na závěr této práce je uveden detailní technologický postup, který byl použit při výrobě finálních struktur a experimentální ověření odolnosti proti teplotnímu namáhání. The aim of this thesis is to create the MEMS heating membrane with low power consumption. This work includes the main of design and fabrication processes of these heating elements. It was decided that the final sample will be created as suspended membrane type of the structure. It the end of the thesis there is detailed overview of the whole fabrication processes used for fabrication of final samples and the experiment to prove the resistance due to thermal stress.
Keywords: closed-type of membrane; etching; heater.; lithography; low power heating membranes; Micro-electro-mechanical systems; sensor; silicon; suspended type of membrane; thin layers deposition; depozice tenkých vrstev; křemík; leptání; litografie; Mikro-elektro-mechanické systémy; senzor; topné membrány s nízkým příkonem; uzavřená membrána; vyhřívání.; závěsná membrána

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/12298

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-243092


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses