Název: Kontrast v obraze získaném pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů ve VP SEM
Překlad názvu: Contrast in image aquired by scintillation SE detector for VP SEM
Autoři: Koudela, Oldřich ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2011
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
První část této práce je teoretické pojednání o základech rastrovací elektronové mikroskopie, složení a funkci elektronového mikroskopu, jeho speciálním případu rastrovacím elektronovém mikroskopu pro vyšší tlak (VP SEM), interakci elektronů s prostředím a o scintilačním detektoru. Praktická část je zaměřena na vyhodnocení materiálového kontrastu na vzorku mědi a wolframu v závislosti na tlaku vodních par v komoře vzorku mikroskopu a podmínkách detekce. First part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of scanning electron microscopy, with structure and function of a scanning electron microscope, its’ special case of an various pressure scanning electron microscope, electron interaction with surrounding environment and with a scintillation detector. The applied part of the thesis is focused on evaluation of material contrast on Cu-W specimen. Material contrast is evaluated for different pressures of water vapors in the microscope specimen chamber and for different detection conditions.
Klíčová slova: materiálový kontrast; Rastrovací elektronový mikroskop pracující při vyšším tlaku; scintilační detektor; material contrast; scintillation detector; Various pressure scanning electron microscope

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/8167

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-219044


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce