Název:
Catalysts for ozone sensitivity enhancement of thin sensors
Autoři:
Fryček, R. ; Myslík, V. ; Vrňata, M. ; Jelínek, Miroslav Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Electronic Devices Systems Conference 2003 /10./, Brno (CZ), 2003-09-09 / 2003-09-10
Rok:
2003
Jazyk:
eng
Abstrakt: Inorganic(In.sub.2./sub.O.sub.3./sub.) and organic (InAcAc) thin films were created by pulsed laser deposition on special alumina chips by KrF excimer laser.Influence of addition catalyst was studied. Catalysts Ni, Fe and Zr were deposited by sputtering in sequence. After each step sensitivity and dynamic behavior were measured.
Klíčová slova:
gas sensors, catalyst; pulsed laser deposition; thin film Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), GA106/00/P011 (CEP), GA104/03/0406 (CEP), GP106/01/P089 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR, GA ČR, GA ČR Zdrojový dokument: Electronic Devices and Systems 03 - Proceedings, ISBN 80-214-2452-4
Instituce: Fyzikální ústav AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0032377