Název: Height profile measurement by means of white-light interferometry
Autoři: Pavlíček, Pavel
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: National Conference with International Participation "Engineering Mechanics 2003", Svratka (CZ), 2003-05-12 / 2003-05-15
Rok: 2003
Jazyk: eng
Abstrakt: White-light interferometry is an established method for the height-profile measurement of rough surface. we show the results of the heigh-profile measurement of silicon waters.
Klíčová slova: height profile measurement; rough surface; white-light interferometry
Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010921 (CEP), LN00A015 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA MŠk
Zdrojový dokument: Engineering Mechanics 2003

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0032197

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-21891


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference