Název:
Profilometrie pomocí interference bílého světla
Překlad názvu:
Profilometry by means of white light interference
Autoři:
Pavlíček, Pavel Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Inženýrská mechanika 2002, Svratka (CZ), 2002-05-13 / 2002-05-16
Rok:
2002
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Profilometrie pomocí interference světla je metoda vhodná pro prověření topologie technických prvků, Jedná se o bezkontaktní optickou metodu, při které je proměřen výškový profil předmětu s přesností přibližne 1ćm.Profilometry by means of white-light interference is a suitable method for measurement of topology of rough surfaces. This contactless optical method measures the height profile with an uncertainly of about 1ćm.
Klíčová slova:
height profile; interference; profilometry; rough surface; white-light Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010921 (CEP), LN00A015 (CEP) Poskytovatel projektu: GA MŠk Zdrojový dokument: Inženýrská mechanika 2002
Instituce: Fyzikální ústav AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0031725