Název: Plasma diagnostics by energy-resolved mass spectroscopy of ions during triode ion plating of TiN films
Autoři: Kadlec, Stanislav ; Maček, M. ; Wouters, S. ; Navinšek, B. ; Paujan, P. ; Quaeyhaegeis, C. ; Stals, L. M.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Conference on Controlled Fusion and Plasma Physics /25./ (1998 ICPP), Praha (CZ), 1998-06-29 / 1998-07-03
Rok: 1998
Jazyk: eng
Číslo projektu: GV106/96/K245 (CEP), HTECH.CRG970529
Poskytovatel projektu: GA ČR, NATO - Collab research grant
Zdrojový dokument: International Congres on Plasma Physics

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0029682

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-21785


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference