Název:
Characterization of microwave plasma generation in inhomogenous magnetic fields
Autoři:
Mišina, Martin ; Musil, Jindřich Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Symposium povlakovací metody CVD a PVD v průmyslu, Tišnov (CZ), 1993-04-13 / 1993-04-14
Rok:
1993
Jazyk:
eng Zdrojový dokument: Povlakovací metody CVD a PVD v průmyslu
Instituce: Fyzikální ústav AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0028302