Název: Plazmochemická depozice vrstev z plynné fáze s využitím směsí TVS/Ar a TVS/O2
Překlad názvu: Plasma-enhanced chemical vapor deposition using TVS/Ar and TVS/O2 mixtures
Autoři: Sadílek, Jakub ; Salyk, Ota (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2013
Jazyk: eng
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstrakt: [eng] [cze]
Tato studie je zaměřena na základní výzkum přípravy a-SiC:H a a-SiCO:H slitin plazmových polymerů pomocí metody plazmochemické depozice z plynné fáze (PE-CVD). Tyto slitiny byly připravovány depozicí z monomeru tetravinylsilanu (TVS) a jeho směsí s kyslíkem a argonem při různých efektivních výkonech pulzního plazmatu. Připravené tenké vrstvy byly za účelem získání závislostí optických, mechanických a chemických vlastností na depozičních podmínkách zkoumány pomocí metod spektros-kopické elipsometrie (ELL), nanoindentace (NI), fotoelektronové spektrometrie (XPS) a Fourierovy transformované infračervené spektrometrie This study is aimed at basic research on a-SiC:H and a-SiOC:H alloys prepared in a form of thin films using plasma-enhanced chemical vapor deposition. These alloys were deposited from tetravinylsilane monomer and its mixtures with argon or oxygen gas at different effective powers under pulsed plasma. Deposited films were investigated by X-ray photoelectron spectroscopy, Fourier transform infrared spectroscopy, spectro-scopic ellipsometry, and nanoindentation to observe their chemical, optical, and me-chanical properties as a function of deposition conditions.
Klíčová slova: a-SiC:H; a-SiCO:H; ellipsometry; Fourier transformed infrared spectrometry (FTIR); Plasma enhanced chemical vapor deposi-tion (PECVD); Tetravinylsilane (TVS); thin film; a-SiC:H; a-SiCO:H; elipsometrie; Fourierovsky transformovaná infračervená spek-trometrie (FTIR); plazmochemická depozice z plyné fáze (PECVD); tenké vrstvy; Tetravinylsilane (TVS)

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/23373

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-216936


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce