Název: Neutralizace náboje na povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem
Překlad názvu: Charge neutralization of the substrate surface during direct ion beam deposition
Autoři: Kejík, Lukáš ; Bábor, Petr (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2013
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Bakalářská práce se zabývá možnostmi neutralizace povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem. V práci byly navrženy tři varianty neutralizačních paletek. Všechny varianty byly otestovány a byly provedeny zkušební depozice GaN na nevodivé substráty. Vzorky byly poté analyzovány pomocí XPS. V bakalářské práci jsou diskutovány možnosti aplikace jednotlivých paletek. Bachelor's thesis deals with possibilities of substrate neutralisation during ion beam deposition. There were designed and tested three sample holders with integrated neutralization filament. Depositions of gallium nitride were done on samples with all configurations, then analyzed by XPS. In this thesis the suitability of all configuration was evaluated and discussed.
Klíčová slova: depozice iontovým svazkem; držák vzorku; Neutralizace substrátu; nitrid gallitý; RTG spektroskopie; safír.; gallium nitride; ion beam deposition; sample holder; sapphire.; Substrate neutralization; X-ray spectroscopy

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/27903

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-213710


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce