Original title:
Neutralizace náboje na povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem
Translated title:
Charge neutralization of the substrate surface during direct ion beam deposition
Authors:
Kejík, Lukáš ; Bábor, Petr (referee) ; Voborný, Stanislav (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2013
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Bakalářská práce se zabývá možnostmi neutralizace povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem. V práci byly navrženy tři varianty neutralizačních paletek. Všechny varianty byly otestovány a byly provedeny zkušební depozice GaN na nevodivé substráty. Vzorky byly poté analyzovány pomocí XPS. V bakalářské práci jsou diskutovány možnosti aplikace jednotlivých paletek.
Bachelor's thesis deals with possibilities of substrate neutralisation during ion beam deposition. There were designed and tested three sample holders with integrated neutralization filament. Depositions of gallium nitride were done on samples with all configurations, then analyzed by XPS. In this thesis the suitability of all configuration was evaluated and discussed.
Keywords:
gallium nitride; ion beam deposition; sample holder; sapphire.; Substrate neutralization; X-ray spectroscopy; depozice iontovým svazkem; držák vzorku; Neutralizace substrátu; nitrid gallitý; RTG spektroskopie; safír.
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/27903