Název:
Studium selektivního růstu kovů na matrici připravené pomocí AFM nanolitografie
Překlad názvu:
Study of a selective growth of metals on matrix prepared by AFM nanolithography
Autoři:
Konečný, Martin ; Mach, Jindřich (oponent) ; Bartošík, Miroslav (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2011
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze][eng]
Tato bakalářská práce je zaměřená na přípravu nanostruktur s využitím mikroskopu atomárních sil. Teoretická část pojednává o základních principech mikroskopu atomárních sil a o fyzikálním principu lokální anodické oxidace. Experimentální část je zaměřená na analýzu nanostruktur vytvořených lokální anodickou oxidací, na měření povrchového potenciálu na připravených nanostrukturách a na selektivní růst kovů na matrici připravenou lokální anodickou oxidací.
This bachelor thesis is focused on fabrication of nanostructures with usage of atomic force microscope. The theoretical part refers to basic principles of atomic force microscope and to physical principle of local anodic oxidation. The experimental part is focused on analysis of nanostructures created by local anodic oxidation, measuring of surface potential on prepared nanostructures and on selective growth of metals on matrix prepared by local anodic oxidation.
Klíčová slova:
AFM; KFM; LAO; lokální anodická oxidace; nanolitografie; AFM; KFM; LAO; local anodic oxidation; nanolithography
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/4288