Název:
Užití CAD systémů pro návrh MEMS
Překlad názvu:
CAD systems for MEMS design
Autoři:
Lazar, Jaroslav ; Paloušek, David (oponent) ; Hartl, Martin (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2009
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze][eng]
Práce se zabývá CAD návrhovými nástroji pro MEMSy. První část je věnována popisu a definování pojmu MEMS a jeho základních částí. Další úsek se zabývá popisem jednotlivých metod pro výrobu MEMSů. Poslední část popisuje vybrané CAD návrhové nástroje, jejich moduly a funkce. V závěru jsou jednotlivé systémy srovnány, zhodnoceny a určena vhodnost jejich použití. Dále je zde uveden význam a výhody MEMSů.
This thesis deals with CAD design tools for MEMS. First part describes and defines MEMS and its basic components. This is followed by a description of methods used to manufacture MEMS. The last part deals with particular CAD design tools, their modules and functions. Mentioned systems are then compared, reviewed and appropriate usage for each of them is suggested. Then the importance and advantages of MEMS are disccussed.
Klíčová slova:
CAD návrhové nástroje; MEMS; mikroelektromechanické systémy; CAD design tools; MEMS; microelectromechanical systems
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/10079