Original title:
Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů
Translated title:
Quantitative Study of Dopant Distribution in a Semiconductor Using Secondary Electron Emission
Authors:
Mika, Filip Document type: Papers Conference/Event: PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika, Brno (CZ), 2004-01-30
Year:
2004
Language:
cze
Keywords:
Dopant Distribution; Secondary Electron Emission; Semiconductors Project no.: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), KJB2065301 (CEP) Funding provider: GA AV ČR Host item entry: PDS 2003 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004, ISBN 80-239-2268-8
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0016226