Název:
Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů
Překlad názvu:
Quantitative Study of Dopant Distribution in a Semiconductor Using Secondary Electron Emission
Autoři:
Mika, Filip Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika, Brno (CZ), 2004-01-30
Rok:
2004
Jazyk:
cze
Klíčová slova:
Dopant Distribution; Secondary Electron Emission; Semiconductors Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), KJB2065301 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: PDS 2003 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004, ISBN 80-239-2268-8
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0016226