Original title: SMV-2015-13: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky
Translated title: SMV-2015-13: Relief structures based on diffractive optics
Authors: Krátký, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Horáček, Miroslav ; Matějka, Milan ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Document type: Research reports
Year: 2015
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Výzkum a vývoj v oblasti fyzikální realizace optických struktur na principu difraktivní optiky prostředky elektronové litografie v záznamovém materiálu neseném křemíkovou nebo skleněnou deskou. Výzkum zahrnuje analýzu optického motivu, výzkum a aplikaci reliéfních struktur realizujících požadované optické vlastnosti, výzkum a modelování možností fyzikální realizace reliéfních struktur, vypracování a analýzu technologie realizace reliéfní struktury s ohledem na limity současných vědeckých přístrojů, ověření teoretických úvah expozicí vzorku reliéfní struktury. Research and development in the field of physical realization of optical structures based on the principle of diffractive optics by means of electron beam lithography in a recording material supported by a silicon or glass board. The research covers the analysis of the optical motive, research and application of relief structures implementing the required optical properties, research and modeling of the physical possibilities of implementation of relief structures, preparation and analysis of technology of implementation of relief structures with regard to the limits of current scientific instruments, verification of theoretical considerations by means of relief structure sample exposure.
Keywords: diffractive optical structures; e-beam lithography; relief structure

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0253795

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-201296


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Reports > Research reports