Název:
SMV-2012-16: Scintilační detektor zpětně odražených elektronů pro SEM
Překlad názvu:
SMV-2012-16: Scintillation detector of backscattered electrons lor SEM
Autoři:
Neděla, Vilém Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2012
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Dle požadavků objednatele byl vyvinut speciální detektor skládající se z výsuvné mechaniky ovládané motorem a řízené počítačem, speciální světlovod z materiálu, jehož spektrální propustnost vyhovuje použitému scintilačnímu monokrystalu a scintilační monokrystal s indium tin oxide vrstvami pro odvedení povrchového náboje při detekci v elektronovém mikroskopu.The unique backscattered electron detector comprising a motor guided retractable mechanism controlled with microprocessor, a special light guide (from a material whose spectral transmittance satisfies used scintillation single crystal) and a scintillation single crystal with indium tin oxide layers (to removing of surface charge created during detection in electron microscope) was produced according to specific requirements of a customer.
Klíčová slova:
BSE; scintillation single crystal detector; SEM
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0232037