Název:
SMV-2012-01: Testovací preparát pro SEM
Překlad názvu:
Testing specimens for SEM
Autoři:
Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Urbánek, Michal ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Horáček, Miroslav ; Král, Stanislav Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2012
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Výzkum a vývoj v oblasti přípravy testovacích struktur reliéfního typu na křemíkovém substrátu. Využití pro testování metriky (rozměrů a ortogonality) elektronových rastrovacích mikroskopů a pro kalibraci zorného pole mikroskopu. Vzorky jsou připraveny hromadně na křemíkovém substrátu pomocí elektronové litografie a souvisejících technik, a dále dokončeny individuálními operacemi na úrovni jednotlivých čipů. Související výzkum a vývoj v oblasti kontroly a validace přesnosti a tolerance mikro rozměrů; kalibrační certifikát.Research and development in the field of relief testing structures on Silicon wafer. The specimen is to be used for testing of metrics (dimensions and orthogonality) of scanning electron microscopes (SEM) as well as for the calibration of the SEM view of field. A set of samples is prepared on a Silicon wafer by means of electron-beam lithography and related techniques. The specimens are individually finalized. Related research and development in the field of accuracy assessment and control as well as tolerance measurements in the micron domain; Calibration Certificate.
Klíčová slova:
anisotropic Silicon etching; dimensional standard; e-beam lithography; e-beam microscopy
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0231968