Název: Analysis of the gas glow
Autoři: Hladká, K. ; Maxa, J. ; Neděla, Vilém ; Vyroubal, P. ; Vaculík, S. ; Hlavatá, P.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Workshop of Interesting Topics of SEM and ESEM, Mikulov (CZ), 2014-08-26 / 2014-08-31
Rok: 2014
Jazyk: eng
Abstrakt: In order to optimize the shape of the Differentially pumped chamber in the area of the Primary Electron Beam passage for the current concept of the location of the foci of the Primary Electron Beam, it was necessary to adapt to the size and shape of the limitations of the existing structure. On fig. 1a is the total cross sectional view of the Differentially pumped chamber. Three variants were examined: Current concept with an easily machined shape of the passage of the primary beam, semi-closed concept with a conical shape, cone concept with a wider cone.
Klíčová slova: analysis; ESEM; gas glow; SEM
Číslo projektu: EE.2.3.20.0103
Poskytovatel projektu: GA MŠk
Zdrojový dokument: Workshop of Interesting Topics of SEM and ESEM, ISBN 978-80-87441-12-1

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0238674

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-177568


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference