Original title: Detekce středu interferenčního proužku v interferometrii nízké koherence
Translated title: White-light interference fringe center detection in white-light interferometry
Authors: Pikálek, Tomáš ; Fořt, Tomáš ; Buchta, Zdeněk
Document type: Papers
Conference/Event: Laser54, Třešť (CZ), 2014-10-29 / 2014-10-31
Year: 2014
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Interferometrie nízké koherence je moderní diagnostická metoda využívaná např. k bezkontaktní analýze profilu povrchů, měření tloušťky tenkých vrstev nebo i ke kalibraci koncových měrek. [1, 2] Základní úlohou v interferometrii nízké koherence je při použití Michelsonova interferometru najít takovou polohu měřicího zrcadla, při které jsou optické dráhy v obou větvích interferometru stejné, tedy nalézt střed bílého interferenčního proužku. Při použití pole fotodetektorů na výstupu interferometru je pak tímto způsobem možné získat informaci o struktuře analyzovaného povrchu. Článek se zaměřuje na metody, které analyzují intenzitu na výstupu interferometru v závislosti na poloze měřicího zrcadla. Tyto metody je možné obecně rozdělit na metody detekující v interferenčním signálu maximum a metody detekující maximum obálky signálu. This paper deals with interference fringe center detection techniques used in low-coherence interferometry for contactless surface analysis. It presents a complex analysis of the experimental data processed by using of various different techniques. The analysis compares those techniques in terms of computational complexity, measurement accuracy and resistance to optical dispersion caused by wedge-shaped optical components.
Keywords: interference fringe center detection techniques; low-coherence interferometry; surface analysis
Project no.: GB14-36681G (CEP), TA03010663 (CEP), LO1212 (CEP), ED0017/01/01
Funding provider: GA ČR, GA TA ČR, GA MŠk, GA MŠk
Host item entry: Sborník příspěvků multioborové konference Laser54, ISBN 978-80-87441-13-8

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0238713

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-177550


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers