Název: Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers
Autoři: Horáček, Miroslav ; Bok, Jan ; Kolařík, Vladimír ; Urbánek, Michal ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Microscopy Congres /18./, Praha (CZ), 2014-09-07 / 2014-09-12
Rok: 2014
Jazyk: eng
Abstrakt: The ZrO W(100) Schottky cathode is used in our e-beam writing system working with a rectangular-shaped electron beam. The homogeneous angular current density distribution is crucial for quality of exposures of the shaped beam lithography systems. Two basic types of the angular emission distribution can be observed in dependence on the microscopic final end form shape of the emitter tip, with bright centre and more common dark centre. The stable operation of the cathode thus stable end form shape requires a delicate balance of parameters inside the gun which however can slightly change during cathode life time. This implies the necessity of analysing and periodical monitoring the current density distribution in e-beam. Four methods enabling this measurement are presented.
Klíčová slova: current density; e-beam writer
Číslo projektu: LO1212 (CEP), ED0017/01/01, TE01020118 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA MŠk, GA MŠk, GA TA ČR
Zdrojový dokument: 18th International Microscopy Congres. Proceedings, ISBN 978-80-260-6720-7

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0238240

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-177526


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference