Název: Nanodiamond seeding of rough substrates
Autoři: Vlčková, M. ; Stefanovič, M. ; Petrák, V. ; Fendrych, František ; Taylor, Andrew ; Fekete, Ladislav ; Nesládek, M.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Instruments and Methods for Biology and Medicine 2011, Kladno (CZ), 2011-06-02 / 2011-06-02
Rok: 2011
Jazyk: eng
Abstrakt: Efficient growth of nanocrystalline diamond (NCD) requires nucleation enhancement before chemical vapour deposition step. Nanodiamond (ND) seeding is a commonly used technique that yields high nucleation densities. This technique is well established for conventional planar substrates with low surface roughness. However, many engineering application requires NCD grow on rough and/or non-planar substrates. In this work, we investigate quality of nanodiamond seeding on silicon substrates of high surface roughness (RMS roughness <1 mm). Seeded substrates and deposited diamond films were analysed by atomic force microscopy (AFM), scanning electron microscopy (SEM) and Raman spectroscopy. We discuss influence of nanodiamond particles in seeding solution and seeding technique on nucleation density and quality of deposited NCD film.
Klíčová slova: nanocrystalline diamond; rough silicon
Číslo projektu: 238201, LD11076 (CEP), MP0901 (CEP), KAN200100801 (CEP), KAN400480701 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA MŠk, COST Nano TP, GA AV ČR, GA AV ČR
Zdrojový dokument: Instruments and methods for biology and medicine 2011, Conference proceedings, ISBN 978-80-01-04915-0

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0237628

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-175734


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference