Název: Growth of diamond thin films: a review
Autoři: Kromka, Alexander ; Potocký, Štěpán ; Rezek, Bohuslav
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass 2012 (PASNPG 2012), Brno (CZ), 2012-10-15 / 2012-10-17
Rok: 2012
Jazyk: eng
Abstrakt: Diamond is shown as an extraordinary material which offers promising solution for variety of fundamental studies and industrial uses. Here, growth of synthetic diamond films at low pressures (1 atm) and low temperatures (<1000°C) from carbon consisting gas mixtures is discussed. Variety of chemical vapor deposition techniques are reviewed, their advantages and disadvantages are pointed out too.
Klíčová slova: chemical vapor deposition; diamond; microwave plasma; raman spectroscopy
Číslo projektu: GAP108/12/0910 (CEP), GAP108/11/0794 (CEP), LH12186 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA ČR, GA MŠk
Zdrojový dokument: Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass 2012 (PASNPG 2012) - Book of Extended Abstracts, ISBN 978-80-210-5979-5

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0226899

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-166099


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference