Název: Study of nucleation and growth of diamond thin films
Autoři: Ižák, Tibor ; Babchenko, Oleg ; Varga, Marián ; Potocký, Štěpán ; Marton, M. ; Vojs, M. ; Domonkos, Mária ; Kromka, Alexander
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Winter Education Seminar /3. /, Rokytnice nad Jizerou (CZ), 2012-02-01 / 04.02. 2012
Rok: 2012
Jazyk: eng
Abstrakt: This study deals with the nucleation and growth of CVD diamond films on Si substrates. In nucleation part two different nucleation methods were studied: (i) the bias enhanced nucleation (BEN) and (ii) ultrasonic seeding. In the case of BEN, (i) the nucleation time and (ii) the influence of bias voltage were studied. For ultrasonic seeding the effect of different solutions of ultradisperzed detonation nanodiamond (UDD) powder with metal particles on the nucleation efficiency and growth process was investigated (i.e. diamond powder, nanosized Ni, microsized Co and Y metal powders).
Klíčová slova: growth of NCD; MW-PECVD; nanocrystalline diamond; nucleation of NCD
Číslo projektu: GBP108/12/G108 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 3rd Winter Education Seminar in Rokytnice nad Jizerou 2012, ISBN 978-80-260-3425-4

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0225846

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-161432


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference