|
|
Adaptive scanning based on lower resolution images
Dymáček, Michal ; Klapetek, Petr (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
The presented diploma thesis is devoted to the development of an adaptive scanning approach based on lower resolution images with the aim of overall scan duration reduction to open up new applications of SPM techniques, namely the Atomic force microscopy (AFM), in fields such as life sciences and the semiconductor industry. In the proposed approach, a low resolution image is initially acquired, which is then artificially upscaled by means of interpolation, and processed to create a speed map for a second round of scanning conducted with line-based speed control. This method allows lines containing elevated features to be scanned slowly for necessary precision and lines consisting of the substrate surface to be scanned quickly to reduce the overall scan duration. Based on a theoretical and experimental analysis of individual steps, an adaptive scanning approach is designed utilizing the scripting module of the SPM microscope LiteScope based on Python. With its application, a scan duration reduction of 30 % was achieved for the TGQ1 calibration grid.
|
|
|
Odpařování tenkých vrstev pomocí intenzivního laserového světla za současného pozorování elektronovým rastrovacím mikroskopem
Boleloucká, Eliška ; Ukropcová, Iveta (oponent) ; Nováček, Zdeněk (vedoucí práce)
Tato práce je zaměřena na modifikaci povrchu vzorku pomocí intenzivního laserového světla, což je jedna z požadovaných vlastností vyvíjené multifunkční sondy SPM nové generace. Nejprve je představena samotná sonda SPM umožňující korelativní měření. Dále je rozebrána problematika zavedení intenzivního laserového světla do komory elektronového mikroskopu společně s provedenou úpravou v detekční větvi mikroskopu. Pro simulaci interakce laserového světla s povrchem vzorku je použito programového prostředí COMSOL Multiphysics. Následně jsou výsledky simulací teplotního pole ve vzorku srovnány s výsledky přímého ovlivňování povrchu vzorku v komoře elektronového mikroskopu.
|
|
|
Vývoj metody současného měření katodoluminiscence a topografie nanostruktur
Vacek, Martin ; Klok, Pavel (oponent) ; Nováček, Zdeněk (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zaměřuje na kombinované použití techniky SPM a SEM za použití optického vlákna sloužícího ke sběru katodoluminiscenčního záření. Práce obsahuje část shrnující použité techniky s detailnějším popisem jevu katodoluminiscence a další části popisuje vývoj metody, včetně návrhu a konstrukce sondy, úprav ladičky a optického vlákna. Výsledky ukazují, že nově vyvinutá metoda je schopná poskytovat přesné a spolehlivé výsledky, čímž na Ústavu fyzikálního inženýrství přispívá k rozšíření možností charakterizace nanostruktur.
|
|
|
Využití dutých optických vláken pro tvorbu a modifikaci nanostruktur
Dejmek, Michael ; Průša, Stanislav (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Tato bakalářské práce se zabývá vývojem SPM sondy nové generace, konktrétně tvorbou a modifikací nanostruktur v komoře elektronového mikroskopu. V rámci předložené práce se věnujeme popisu vedení světla v standardních optických vláknech a popisu vedení světla a plynu vlákny na bázi fotonického krystalu. Dále popisujeme využité metody (depozice indukovaná elektronovým svazkem, depozice z plynné fáze) pro tvorbu nanostruktur. V experimentální části se věnujeme návrhu a následnému testování sestav využitých pro tvorbu nanostruktur. Výsledky ukazují, že námi použitá metoda je úspěšná a nabízí tak novou možnost tvorby nanostruktur na Ústavu fyzikálního inženýrství, FSI VUT.
|
|
|
Příprava a testování SNOM sond speciálních vlastností
Bobek, Juraj ; Pavera, Michal (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Oblasť výskumu, ktorá sa zaoberá úpravou povrchov a tvorbou nanoštruktúr, je ešte stále velmi neprebádaná. A iba malý príspevok do tejto oblasti je pojednávaný v tejto bakalárskej práci. Jej cieľom je výroba a testovanie sondy z dutého optického vlákna určenej do rastrovacej sondovej mikroskopie. Parametre optického vlákna v kombinácii s vhodnou technikou umožnia prelom mnohým zaujímavým aplikáciam. Za zmienku stojí vstrekovanie plynu do blízkosti povrchu vzorky (GIS) a jeho následná modifikácia použitím elektrónového (FEBID), iónového (FIBID) alebo laserového zväzku.
|
|
|
Využití měřicí metody SPM v technologii výroby krystalických solárních článků
Mojrová, Barbora ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Hégr, Ondřej (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá využitím technik mikroskopie atomárních sil (AFM) a mikroskopie Kelvinovou sondou (KPFM) ve výrobě solárních článků. Obě techniky zjišťují požadované vlastnosti povrchu pomocí silových interakcí mezi ním a hrotem, jež postupně skenuje celý povrch vzorku. Mikroskopie atomárních sil umožňuje trojrozměrné zobrazení struktury povrchu. Mikroskopie Kelvinovou sondou se využívá pro měření kontaktního potenciálu povrchu a vrstev těsně pod ním. V práci jsou popsána experimentální měření topografie pomocí AFM u monokrystalických i multikrystalických substrátů po různých procesech leptání. Pomocí KPFM byl měřen kontaktní potenciál na struktuře selektivního emitoru a na pasivačních a antireflexních vrstvách PSG, SiOX, SiNX a Al2O3. Všechny experimenty popsané v této práci probíhaly na pracovišti společnosti Solartec s.r.o. a plně korespondují se současnou technologií výroby krystalických solárních článků.
|
|
|
Sestavení a testování zařízení pro výrobu ozonované vody a její aplikace na čištění křemíkových desek
Ředina, Dalibor ; Mikulík, Petr (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Deionizovaná ozonovaná voda neboli tzv. DIO3 se zdá být vhodnou alternativou pro použití v polovodičovém průmyslu. Užití DIO3 při odstraňování fotorezistu z křemíkových desek je rychlejší, levnější a šetrnější k životnímu prostředí oproti klasické technologii založené na použití směsi kyseliny sírové a peroxidu vodíku neboli SPM. Diplomová práce se zabývá prvně rešerší na téma ozon a ozonované vody a jejich možné aplikace. V dalších částech jsou popsány dva prototypy generátorů DIO3, jež byly sestaveny ve společnosti CSVG a.s. Testování parametrů generátorů na koncentraci rozpuštěného ozonu je taktéž součástí této práce. Dále jsou v práci uvedeny i testy, které byly provedeny ve společnosti ON Semiconductor v Rožnově pod Radhoštěm. V testech je porovnávána účinnost čištění pomocí klasické technologie využívající SPM a pomocí DIO3.
|
|
| |
|
|
Optimalizace zpracování MREG MRI dat
Lampert, Frederik ; Mikl, Michal (oponent) ; Gajdoš, Martin (vedoucí práce)
MR-encefalografia (MREG) je inovatívna metóda ultrarýchleho magnetického rezonančného zobrazovania. Väčšina publikácií na túto tému sa venuje predovšetkým akvizícií a rekonštrukcií surových dát. Štúdie, ktoré by sa venovali zavedeniu štandardného postupu predspracovania MREG dát ešte neboli publikované, čo bolo motiváciou pre vypracovanie tejto bakalárskej práce. Cieľom tejto práce bolo stanoviť optimálny postup predspracovania MREG dát, ktorý by mohol byť odporučený aj pre budúce štúdie, využívajúce práve túto metódu zobrazovania. Stanovený cieľ bol rozdelený na viaceré podúlohy, ktorých vypracovaním sa dostávame k celkovému riešeniu. Jednotlivé podúlohy pozostávali z vypracovania literárnej rešerše, implementácie obvyklého postupu predspracovania a navrhnutia a implementácie alternatívnych postupov predspracovania do programového prostredia MATLAB. Navrhnuté postupy boli následne vyhodnotené podľa vytvorených kritérií, popísaných v práci. Výsledky hodnotenia boli okomentované a graficky znázornené. Na základe získaných výsledkov bol stanovený optimálny postup, ktorý pozostáva z korekcie pohybu a geometrického skreslenia pomocou funkcie Realign & UNWARP, priestorovej normalizácie k EPI snímku MNI šablóny a priestorového vyhľadenia pomocou konvolúcie s Gausovským jadrom.
|
|
|
Nelineární jevy v optických vláknech
Burian, Radek ; Horváth, Tomáš (oponent) ; Münster, Petr (vedoucí práce)
Téma práce je popis nelineárních jevů v optickém vlákně. V teoretické části je rozebrán princip přenosu světla skrze optické vlákno. Okrajově jsou rozebrány optické součástky, vlákna a jejich parametry. Kromě nelineárních jevů jsou popsány i lineární jevy, jako například útlum, rozptyly, disperze. Z hlediska nelineárních jevů práce popisuje jevy druhého řádu, konkrétně Generace druhé harmonické (SHG), Generace součtové a Rozdílové frekvence (SFG a DFG), třetího řádu, mezi ně patří Kerrův jev, Generace třetí harmonické (THG), Vlastní fázová modulace (SPM), Čtyřvlnné směšování (FWM), Křížová fázová modulace (XPM). Dále jsou v práci rozebrány nelineární rozptyly, Ramanův a Brillouinův rozptyl. V praktické části je simulován nelineární jev Čtyřvlnné směšování. Tento jev se z velké části objevuje v systémech DWDM, kde způsobuje přeslechy. Cílem našeho měření je jev prozkoumat a následně najít způsob jeho potlačení. Na základě simulace je sestavené reálné zapojení daného jevu. Kromě Čtyřvlnného směšování je sestaveno také zapojení pro stimulovaný Brillouinův jev. Výsledky simulace a obou měření jsou následně shrnuty a porovnány s teoretickými poznatky.
|
host ::
RSS.