|
|
Sestavení a testování zařízení pro výrobu ozonované vody a její aplikace na čištění křemíkových desek
Ředina, Dalibor ; Mikulík, Petr (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Deionizovaná ozonovaná voda neboli tzv. DIO3 se zdá být vhodnou alternativou pro použití v polovodičovém průmyslu. Užití DIO3 při odstraňování fotorezistu z křemíkových desek je rychlejší, levnější a šetrnější k životnímu prostředí oproti klasické technologii založené na použití směsi kyseliny sírové a peroxidu vodíku neboli SPM. Diplomová práce se zabývá prvně rešerší na téma ozon a ozonované vody a jejich možné aplikace. V dalších částech jsou popsány dva prototypy generátorů DIO3, jež byly sestaveny ve společnosti CSVG a.s. Testování parametrů generátorů na koncentraci rozpuštěného ozonu je taktéž součástí této práce. Dále jsou v práci uvedeny i testy, které byly provedeny ve společnosti ON Semiconductor v Rožnově pod Radhoštěm. V testech je porovnávána účinnost čištění pomocí klasické technologie využívající SPM a pomocí DIO3.
|
|
|
Příprava 2D heterostruktur
Ředina, Dalibor ; Hrabovský, Miloš (oponent) ; Bartoš, Miroslav (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce pojednává o přípravě 2D heterostruktur na ÚFI VUT v Brně. V první pasáži se nachází teoretická část práce, která se zabývá vlastnostmi grafénu, sulfidu molybdeničitého a obecně 2D heterostruktur. Pro komplexní přehled o grafénu je uvedeno pár informací o uhlíku, jeho vlastnostech a alotropních modifikacích. V další části práce je provedena rešerše metod pro výrobu heterostruktur a výběr teoreticky nejlepší metody. Experimentální část práce se pak zabývá optimalizací této metody. Jednotlivé kroky metody jsou různými způsoby vylepšovány, pro co možná nejlepší úspěšnost výroby heterostruktur. Výsledek samotného přenosu je uveden v práci.
|
|
|
Sestavení a testování zařízení pro výrobu ozonované vody a její aplikace na čištění křemíkových desek
Ředina, Dalibor ; Mikulík, Petr (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Deionizovaná ozonovaná voda neboli tzv. DIO3 se zdá být vhodnou alternativou pro použití v polovodičovém průmyslu. Užití DIO3 při odstraňování fotorezistu z křemíkových desek je rychlejší, levnější a šetrnější k životnímu prostředí oproti klasické technologii založené na použití směsi kyseliny sírové a peroxidu vodíku neboli SPM. Diplomová práce se zabývá prvně rešerší na téma ozon a ozonované vody a jejich možné aplikace. V dalších částech jsou popsány dva prototypy generátorů DIO3, jež byly sestaveny ve společnosti CSVG a.s. Testování parametrů generátorů na koncentraci rozpuštěného ozonu je taktéž součástí této práce. Dále jsou v práci uvedeny i testy, které byly provedeny ve společnosti ON Semiconductor v Rožnově pod Radhoštěm. V testech je porovnávána účinnost čištění pomocí klasické technologie využívající SPM a pomocí DIO3.
|
|
|
Příprava 2D heterostruktur
Ředina, Dalibor ; Hrabovský, Miloš (oponent) ; Bartoš, Miroslav (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce pojednává o přípravě 2D heterostruktur na ÚFI VUT v Brně. V první pasáži se nachází teoretická část práce, která se zabývá vlastnostmi grafénu, sulfidu molybdeničitého a obecně 2D heterostruktur. Pro komplexní přehled o grafénu je uvedeno pár informací o uhlíku, jeho vlastnostech a alotropních modifikacích. V další části práce je provedena rešerše metod pro výrobu heterostruktur a výběr teoreticky nejlepší metody. Experimentální část práce se pak zabývá optimalizací této metody. Jednotlivé kroky metody jsou různými způsoby vylepšovány, pro co možná nejlepší úspěšnost výroby heterostruktur. Výsledek samotného přenosu je uveden v práci.
|
host ::
RSS.