Název: Odpařování tenkých vrstev pomocí intenzivního laserového světla za současného pozorování elektronovým rastrovacím mikroskopem
Překlad názvu: Evaporation of thin films using intense laser light observed operando in a scanning electron microscope
Autoři: Boleloucká, Eliška ; Ukropcová, Iveta (oponent) ; Nováček, Zdeněk (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2024
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato práce je zaměřena na modifikaci povrchu vzorku pomocí intenzivního laserového světla, což je jedna z požadovaných vlastností vyvíjené multifunkční sondy SPM nové generace. Nejprve je představena samotná sonda SPM umožňující korelativní měření. Dále je rozebrána problematika zavedení intenzivního laserového světla do komory elektronového mikroskopu společně s provedenou úpravou v detekční větvi mikroskopu. Pro simulaci interakce laserového světla s povrchem vzorku je použito programového prostředí COMSOL Multiphysics. Následně jsou výsledky simulací teplotního pole ve vzorku srovnány s výsledky přímého ovlivňování povrchu vzorku v komoře elektronového mikroskopu. This work focuses on the modification of the sample surface using intense laser light. This is one of the desired features of the new generation of multifunctional SPM probes, which are under development. In the first chapter is introduced the SPM probe itself, which allows correlative measurements. Following section contains the implementation of the intense laser light into the electron microscope chamber, together with the modification made to the detection branch of the microscope. The COMSOL Multiphysics software environment is used to simulate the interaction of the laser light with the sample surface. The results of the simulations of the temperature field in the sample are then compared with the results of the direct interaction of the sample surface with the laser light in the electron microscope chamber.
Klíčová slova: COMSOL Multiphysics; mikromanipulátor s optickým vláknem; modifikace laserem; odpařování tenkých vrstev; SEM; SPM; COMSOL Multiphysics; evaporation of thin films; fiber optic micromanipulator; modification via laser; SEM; SPM

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: https://hdl.handle.net/11012/247690

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-619915


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce