Název:
Scintilační a ionizační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Překlad názvu:
Scintillation and Ionization SE Detector for VP SEM
Autoři:
Novák, Pavel ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2009
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Předkládaná práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM) a používanými detektory sekundárních elektronů. Základním zaměřením práce je objasnění funkce používaných detektorů sekundárních elektronů a srovnání těchto detektorů. Jmenovitě se jedná o scintilační detektor a ionizační detektor.
Submitted work deals with problems of environmental scanning electron microscopy (EREM) and used detectors of secondary electrons.
Klíčová slova:
Environmentální rastrovací elektronová mikroskopie; ionizační detektor; scintilační detektor; sekundární elektrony; Environmental scanning electron microscopy; ionization detector; scintillation detector; secondary electrons
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/2888