Název: Optimalizace přípravy mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusvaného iontového svazku
Překlad názvu: Optimization of preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam
Autoři: Kuběna, Ivo ; Kruml, Tomáš
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Víceúrovňový design pokrokových materiálů ´09, Brno (CZ), 2009-12-03
Rok: 2009
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Tento článek popisuje novou metodou měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimenty byly prováděny na tenké vrstvě Al – 1,5 hm.% Cu. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometrů a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mikrokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie, tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků. Úspěšně provedené kompresní zkoušky potvrdily vhodnost takto připravených vzorků pro mikrokompresní zkoušku. In this paper new method of mechanical properties measurement of thin films is presented. This method combines preparation of specimen using focused ion beam and compressive test by nanoindenter. This paper is focused on description of the preparation microcompressive specimens. The thin film Al – 1.5 wt. % Cu was studied. The cylindrical pillars had diameter about 1.3 micrometers and their height was determined by thickness of layer (2 micrometers). The optimized reproducible process of the preparation of the microcompressive specimens was found. This process is optimized from geometry and preparation time point of view. Successfully executed compressive tests confirmed suitability specimens for microcompressive test
Klíčová slova: focused ion beam; microcompresion; thin film
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20410507 (CEP)
Zdrojový dokument: Víceúrovňový design pokrokových materiálů - 2009. Sborník doktorské konference., ISBN 978-80-254-6070-2

Instituce: Ústav fyziky materiálů AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0177936

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-40763


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky materiálů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference