host ::
| Hlavní stránka > Konferenční materiály > Příspěvky z konference > Estimation of mechanical parameters of thin films using finite element analysis |
Název:
Estimation of mechanical parameters of thin films using finite element analysis
Autoři: Tinoco Navaro, Hector Andres ; Holzer, Jakub ; Pikálek, Tomáš ; Buchta, Zdeněk ; Lazar, Josef ; Chlupová, Alice ; Kruml, Tomáš ; Hutař, Pavel
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Conference Applied Mechanics /20./, Myslovice (CZ), 20180409
Rok: 2018
Jazyk: eng
Abstrakt: This study shows a methodology to estimate mechanical parameters of thin films by means of a bulge\ntest and a numerical approach. The methodology is based on the combination of finite element analysis with a\nclassical analytical method. Finite element modelling was conducted for monolayer (Si3N4) membranes of 2x2mm\nwith the aim to approximate both the load-deflection curves experimentally measured and the classical loaddeflection\nanalytical model. Error functions were constructed and minimized to delimit a coupled solution space\nbetween Young’s modulus and Poison’s ratio. In a traditional bulge test analysis only one of the elastic properties\ncan be determined due to that there is not unique solution in the estimations of these parameters. However, both\nelastic parameters were determined through the proposed numerical procedure which compares the deformed\nsurfaces for a specific set of optimal elastic parameters computed. Results shows that the estimated elastic\nproperties agree with corresponding values determined by other methods in the literature
Klíčová slova: bulge test; elastic properties; finite element analysis; thin film
Číslo projektu: EF16_013/0001823
Poskytovatel projektu: GA MŠk
Zdrojový dokument: Applied Mechanics 2018, ISBN 978-80-261-0766-8
Instituce: Ústav fyziky materiálů AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0289462
Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-393196
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky materiálů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
Autoři: Tinoco Navaro, Hector Andres ; Holzer, Jakub ; Pikálek, Tomáš ; Buchta, Zdeněk ; Lazar, Josef ; Chlupová, Alice ; Kruml, Tomáš ; Hutař, Pavel
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Conference Applied Mechanics /20./, Myslovice (CZ), 20180409
Rok: 2018
Jazyk: eng
Abstrakt: This study shows a methodology to estimate mechanical parameters of thin films by means of a bulge\ntest and a numerical approach. The methodology is based on the combination of finite element analysis with a\nclassical analytical method. Finite element modelling was conducted for monolayer (Si3N4) membranes of 2x2mm\nwith the aim to approximate both the load-deflection curves experimentally measured and the classical loaddeflection\nanalytical model. Error functions were constructed and minimized to delimit a coupled solution space\nbetween Young’s modulus and Poison’s ratio. In a traditional bulge test analysis only one of the elastic properties\ncan be determined due to that there is not unique solution in the estimations of these parameters. However, both\nelastic parameters were determined through the proposed numerical procedure which compares the deformed\nsurfaces for a specific set of optimal elastic parameters computed. Results shows that the estimated elastic\nproperties agree with corresponding values determined by other methods in the literature
Klíčová slova: bulge test; elastic properties; finite element analysis; thin film
Číslo projektu: EF16_013/0001823
Poskytovatel projektu: GA MŠk
Zdrojový dokument: Applied Mechanics 2018, ISBN 978-80-261-0766-8
Instituce: Ústav fyziky materiálů AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0289462
Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-393196
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky materiálů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
Záznam vytvořen dne 2019-03-14, naposledy upraven 2021-11-24.