Název: Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů
Překlad názvu: Hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films
Autoři: Hubička, Zdeněk ; Čada, Martin ; Olejníček, Jiří ; Kšírová, Petra ; Tvarog, Drahoslav
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2018
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Zpráva popisuje hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozici optických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů s definovanými optickými vlastnostmi. The report describes a hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films with defined optical properties.
Klíčová slova: discharge; HiPIMS; plasma; thin film
Číslo projektu: FV20580
Poskytovatel projektu: GA MPO

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0293030

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-391585


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Zprávy > Výzkumné zprávy