Název: Study of mechanical properties of nanolayered Ti/Ni coatings
Autoři: Zábranský, L. ; Václavík, R. ; Přibyl, R. ; Ženíšek, J. ; Souček, P. ; Buršík, Jiří ; Fořt, Tomáš ; Buršíková, V.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: NANOCON 2017. International Conference on Nanomaterials - Research & Application /9./, Brno (CZ), 20171018
Rok: 2018
Jazyk: eng
Abstrakt: The aim of the present work was to study the dependence of mechanical properties of Ti/Ni multilayer thin films on the thicknesses of constituent Ti and Ni layers. The multilayer thin films were synthesized by deposition of Ti and Ni layers alternately on single crystalline silicon substrates using direct current magnetron sputtering method. Thicknesses of Ti and Ni layers varied from 1.7 nm to 100 nm. The micro-structure of the multilayer films was studied using X-ray diffraction technique, scanning electron microscopy with focused ion beam technique and transmission electron microscopy. Mechanical properties obtained from nanoindentation experiments were discussed in relation to microstructural observations.
Klíčová slova: magnetron sputtering; multilayers; nanoindentation; TEM; Ti/Ni
Číslo projektu: GA15-17875S (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: NANOCON 2017: Conference Proceedings, ISBN 978-80-87294-81-9

Instituce: Ústav fyziky materiálů AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0291572

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-391446


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky materiálů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference