Název: Zajištění plošné homogenity při depozici složitých systémů vrstev
Překlad názvu: Attaining surface homogeneity in the deposition of complex layer systems
Autoři: Žídek, Karel
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2018
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]

Klíčová slova: deposition mask; surface homogeneity; thin layer deposition
Číslo projektu: LO1206 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA MŠk

Instituce: Ústav fyziky plazmatu AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0287991

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-387522


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky plazmatu
Zprávy > Výzkumné zprávy
 Záznam vytvořen dne 2018-11-15, naposledy upraven 2021-11-24.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet