Název: Zajištění plošné homogenity při depozici složitých systémů vrstev
Překlad názvu: Attaining surface homogeneity in the deposition of complex layer systems
Autoři: Žídek, Karel
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2018
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
V této zprávě popisujeme postup optimalizace depozice interferenčního filtru s cílem dosáhnout homogenní tloušťky vrstvy na co největším rozsahu deponované plochy. Za použití depoziční masky a rotace depoziční kaloty dosahujeme homogenity ± 0.5% pro vzorky do průměru 5 cm. Zkoumáme poté vliv naklonění substrátu a depozici na zakřivený povrch čočky na homogenitu deponované vrstvy. We report on a procedure of optimization of a thin-film deposition process with respect to the best attainable layer homogeneity on a large deposited surface. By using a deposition mask and rotation of the deposition calotte, we reach the homogeneity of ± 0.5% for samples with the diameter up to 5 cm. Furthermore, we investigate the effect of substrate tilt and of a deposition on a curved lens surface with respect to homogeneity of the deposited layer.
Klíčová slova: deposition mask; surface homogeneity; thin layer deposition
Číslo projektu: LO1206 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA MŠk

Instituce: Ústav fyziky plazmatu AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0287991

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-387522


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky plazmatu
Zprávy > Výzkumné zprávy