Název: Návrh manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop
Překlad názvu: Design of manipulator for ultrahigh electron microscope
Autoři: Caesar, Radek ; Mach, Jindřich (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2018
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Hlavním cílem této bakalářské práce je návrh konstrukce manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop (UHV SEM), který je v současné době vyvíjen firmou TESCAN ve spolupráci s Ústavem fyzikálního inženýrství FSI VUT. Tento manipulátor má umožnit manipulaci se vzorky v tzv. přípravné komoře, do níž se vzorky vpravují před jejich umístěním do analytické komory. V přípravné komoře probíhají povrchové a jiné úpravy vzorku. V teoretické části jsou popsány některé technologie, užívané v oblasti vakuové techniky, především různé principy měření tlaku a čerpání vzduchu. Dále je práce zaměřena na stručný popis vyvíjeného UHV SEM a metod přípravy vzorků. Praktická část se zabývá samotným návrhem a popisem konstrukce manipulátoru. The main purpose of this thesis is mechanical design of a manipulator for an ultra-high vacuum scanning electron microscope (UHV SEM), being currently developed by TESCAN ORSAY HOLDING a.s. in cooperation with the Institute of physical engineering FME BUT. The manipulator is supposed to be able to handle with specimens in so-called preparation chamber, which the specimens are put in before placing into the analytic chamber. In the preparation chamber the surface finishing and also other operations are made. In the theoretical part some of the technologies used in vacuum engineering, especially various principles of pressure measurement and gas pumping, are described. Besides, the thesis is focused on a brief description of UHV SEM being developed and the methods of specimen preparation. The practical part deals with the concept and the mechanical design of manipulator itself.
Klíčová slova: depozice; efuzní cela; manipulátor; preparační komora; UHV SEM; ultravysoké vakuum; zásobník paletek; deposition; effusion cell; manipulator; preparation chamber; sample reciever; UHV SEM; ultra-high vacuum

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/83737

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-382642


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce