Original title: Návrh manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop
Translated title: Design of manipulator for ultrahigh electron microscope
Authors: Caesar, Radek ; Mach, Jindřich (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2018
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Hlavním cílem této bakalářské práce je návrh konstrukce manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop (UHV SEM), který je v současné době vyvíjen firmou TESCAN ve spolupráci s Ústavem fyzikálního inženýrství FSI VUT. Tento manipulátor má umožnit manipulaci se vzorky v tzv. přípravné komoře, do níž se vzorky vpravují před jejich umístěním do analytické komory. V přípravné komoře probíhají povrchové a jiné úpravy vzorku. V teoretické části jsou popsány některé technologie, užívané v oblasti vakuové techniky, především různé principy měření tlaku a čerpání vzduchu. Dále je práce zaměřena na stručný popis vyvíjeného UHV SEM a metod přípravy vzorků. Praktická část se zabývá samotným návrhem a popisem konstrukce manipulátoru. The main purpose of this thesis is mechanical design of a manipulator for an ultra-high vacuum scanning electron microscope (UHV SEM), being currently developed by TESCAN ORSAY HOLDING a.s. in cooperation with the Institute of physical engineering FME BUT. The manipulator is supposed to be able to handle with specimens in so-called preparation chamber, which the specimens are put in before placing into the analytic chamber. In the preparation chamber the surface finishing and also other operations are made. In the theoretical part some of the technologies used in vacuum engineering, especially various principles of pressure measurement and gas pumping, are described. Besides, the thesis is focused on a brief description of UHV SEM being developed and the methods of specimen preparation. The practical part deals with the concept and the mechanical design of manipulator itself.
Keywords: deposition; effusion cell; manipulator; preparation chamber; sample reciever; UHV SEM; ultra-high vacuum; depozice; efuzní cela; manipulátor; preparační komora; UHV SEM; ultravysoké vakuum; zásobník paletek

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/83737

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-382642


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses