Název: Detekce plasticity v tenkých hliníkových vrstvách pomocí bulge testu
Překlad názvu: Detecting plasticity in al thin films by means of bulge test
Autoři: Holzer, Jakub ; Pikálek, Tomáš ; Buchta, Zdeněk ; Lazar, Josef ; Tinoco, H.A. ; Chlupová, Alice ; Náhlík, Luboš ; Sobota, Jaroslav ; Fořt, Tomáš ; Kruml, Tomáš
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Vrstvy a povlaky 2017 /16./, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 20171023
Rok: 2017
Jazyk: eng
Abstrakt: The Bulge test proved to be a useful tool for measuring elastic properties of thin films and\nfree standing membranes, particularly Young’s modulus and residual stress. The basic principle\nof bulge test is application of differential pressure on one side of the a membrane, measurement of\nthe shape of bulged surface as a function of pressure, in this case via laser interferometer, and\nevaluation of a pressure-deflection relationship. In this study, bilayer membrane consisting of a\nsilicon nitride supporting layer and an aluminium layer deposited by means of magnetron\nsputtering is subjected to the bulge test. The results clearly show signs of a non-linear behavior\nthat is caused by plastic deformation in the aluminium layer. Finite element analysis is being\ndeveloped to describe this behavior because analytical model using deflection of central point and\npressure relation falls apart in case of non-linearity.
Klíčová slova: Bulge test; mechanical test; thin films
Číslo projektu: LO1212 (CEP), ED0017/01/01
Poskytovatel projektu: GA MŠk, GA MŠk
Zdrojový dokument: Vrstvy a povlaky 2017, ISBN 978-80-972133-2-9

Instituce: Ústav fyziky materiálů AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0280585

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-373451


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky materiálů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference