Název: Studium depozice katalytických materiálů do kanálů palivových mikročlánků na čipu
Překlad názvu: Study of deposition of catalytic materials into fuel channels of micro-fuel cells on a chip
Autoři: Chlupová, Šárka ; Matolínová, Iva (vedoucí práce) ; Grym, Jan (oponent)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2016
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
This diploma thesis is interested in usage of Electron Beam lithography process as an instrument of transport of contacts and catalytic layers to micro-channels of the micro monolithic planar fuel cell. Experimental part includes optimization of the PMMA resist deposition method on the 3D topography - spray coating - is performed with alternative spray coating system. The optimal spin speed resist, molecular weight and concentration is chosen during the optimization. Parameters of the exposition, developing and lift-off are also modified and three EBL processes are performed. The first ensures deposition of Au contacts to the channels; the second is for application of Pt layer to the cathode channel and the last aimed to cover the anode channel with CeO/CNx layer. All layers are deposited by magnetron sputtering. Tato diplomová práce se zabývá procesem elektronové litografie jako nástroje použitelného k transportu kontaktních a katalytických vrstev do mikro-kanálů v monolitickém planárním palivovém mikro-článku. Experimentální část zahrnuje optimalizaci depozice PMMA rezistových vrstev na 3D strukturovaném Si substrátu. Spray-coating je proveden pomocí alternativního spray-coating systému. Optimální rychlost otáček, molekulární hmotnost a koncentrace jsou vybrány během optimalizace. Parametry celého litografického procesu jsou také modifikovány a tři po sobě následující EBL procesy jsou provedeny. První zajišťuje depozici zlatých kontaktů, druhý nanese Pt katalytickou vrstvu do katodového kanálu a třetí pokryje anodový kanál vrstvou CeO/CNx.

Instituce: Fakulty UK (VŠKP) (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dostupné v digitálním repozitáři UK.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/20.500.11956/82969

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-352618


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Univerzita Karlova > Fakulty UK (VŠKP)
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce