host ::
| Hlavní stránka > Zprávy > Výzkumné zprávy > SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury |
Název:
SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury
Překlad názvu: SMV-2016-03: Precise relief structures
Autoři: Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav ; Fořt, Tomáš ; Oulehla, Jindřich ; Šerý, Mojmír
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2016
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Klíčová slova: e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0266242
Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-262483
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy
Překlad názvu: SMV-2016-03: Precise relief structures
Autoři: Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav ; Fořt, Tomáš ; Oulehla, Jindřich ; Šerý, Mojmír
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2016
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Klíčová slova: e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0266242
Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-262483
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy
Záznam vytvořen dne 2017-01-11, naposledy upraven 2021-11-24.