Název: Detekce signálních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu
Překlad názvu: Detection of signal electrons in ESEM
Autoři: Šváb, Martin ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2012
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá problematikou činnosti environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu (EREM) a detekcí signálních elektronů při vyšších tlacích v komoře vzorku mikroskopu. V práci se zaměřím na porovnání velikosti detekovaného signálu za různých podmínek v komoře vzorku, jako je změna tlaku a změna napětí na elektrodách detektoru při konstantním nastavení parametrů elektronového svazku. This bachelor's thesis deals with problems of environmental scanning electron microscopy and with detection of signal electrons at higher pressure in working chamber. In this thesis I will focus on comparison of detected signal level achieved under different working conditions.
Klíčová slova: EREM; ionizační detektor; Rastrovací elektronový mikroskop; ESEM; ionization detector; Scanning electron microscope

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/12138

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-241800


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce