Název: Plazmatická příprava tlustých kovových vrstev pro mechanické rytí blejzovaných difrakčních mřížek
Překlad názvu: Plasma preparation of thick metal layers for mechanical engraving of blazed diffraction gratings
Autoři: Olejníček, Jiří
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2015
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Smluvní výzkum byl zaměřen přípravu a optimalizaci procesu depozice vybraných tlustých kovových vrstev o tloušťce 5 až 10 µm na leštěné skleněné substráty. Ze strany zadavatele byl kladen důraz zejména na mechanické vlastnosti vrstev: adheze, porozita, homogenita, tvrdost a časová stálost. Contract research was focused on preparation and optimization of the deposition process of the selected thick metal layers with a thickness 5 to 10 microns on a polished glass substrates. The emphasis was mainly on the mechanical properties of films: adhesion, porosity, homogeneity, hardness and time stability.
Klíčová slova: magnetron sputtering; surface properties; thin films

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0257670

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-203172


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Zprávy > Výzkumné zprávy