Název:
Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu
Překlad názvu:
Coordinate interferometric system for measuring the position of a sample of the electron lithograph
Autoři:
Holá, Miroslava ; Lazar, Josef ; Čížek, Martin ; Řeřucha, Šimon ; Číp, Ondřej Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: LASER 55, Třešť (CZ), 2015-10-21 / 2015-10-23
Rok:
2015
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Tento projekt se nazývá „Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie“. Řešitelem tohoto projektu je Vysoké učení technické v Brně/Fakulta strojního inženýrství a spoluřešitelé jsou ON Semiconductor Czech republic, s.r.o., Optaglio s.r.o., Tescan Brno, s.r.o. a Ústav přístrojové techniky AVČR, v.v.i.. V rámci tohoto projektu pracujeme na návrhu interferometrického odměřovacího systému, laserového zdroje a detekční techniky pro souřadnicové odměřování stolu elektronového litografu.This project is called "Platform of advanced microscopic and spectroscopic techniques for nano and microtechnology." The coordinator of this project is the Brno University of Technology / Faculty of Mechanical Engineering and the co-investigators are ON Semiconductor Czech Republic, Ltd., Optaglio Ltd., Tescan Brno, Ltd. And the Institute of Scientific Instruments of the CAS, v. v. i.. In this project we are working on a design of an interferometric measuring system, laser source and detection techniques for a coordinate measuring system of the table of the electron beam lithography.
Klíčová slova:
coherence optics; coherent laser; interferometry Číslo projektu: GB14-36681G (CEP), TA02010711 (CEP), TA01010995 (CEP), TE01020233 (CEP), LO1212 (CEP), ED0017/01/01 Poskytovatel projektu: GA ČR, GA TA ČR, GA TA ČR, GA TA ČR, GA MŠk, GA MŠk Zdrojový dokument: Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55, ISBN 978-80-87441-16-9
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0250860