|
|
Preparation of sample cross-sections and analysis by SIMS
Karlovský, Juraj ; Pechal, Radim (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
This thesis studies possible methods of semiconductor sample measurement by SIMS, with emphasis on testing different measurement parameters and sample preparation. Part of this master thesis deals with the design of a modified sample holder compatible with the used ToF-SIMS$^{5}$ instrument, IONTOF company, which is capable of tilting the sample by defined angle. This holder enables sample preparation in the main chamber of the instrument without the need of transferring the sample between instruments, which limits the probability of sample contamination. This sample holder was tested by ion machining of TIGBT sample edge and by imaging of a crater edge, created in previous measurement. Edge termination structures prepared by different techniques were measured on the TIGBT samples. Further measurements with the goal of optimizing the depth resolution for thin layers were done on Molybdenum-Silicon-multilayer X-Ray Mirror. Part of the measurements was focused on comparing depth profiles measured at low temperatures. For these measurements the samples with Indium multilayers in GaN substrate were used.
|
|
|
Study of Thin-Film Surfaces
Trivedi, Rutul Rajendra ; Fejfar, Antonín (referee) ; Klapetek, Petr (referee) ; Šikola, Tomáš (referee) ; Čech, Vladimír (advisor)
Disertační práce se zabývá studiem povrchových vlastností jedno a vícevrstvých filmů deponovaných z vinyltriethoxysilanových a tetravinylsilanových monomerů. Zabývá se také charakterizací adheze jednovrstvých filmů z tetravinylsilanu. Plazmaticky polymerizované tenké vrstvy byly připraveny na leštěných křemíkových substrátech pomocí plazmové depozice z plynné fáze za ustálených podmínek. Povrchové vlastnosti vrstev byly charakterizovány pomocí různých metod rastrovací sondové mikroskopie a nanoindentačních technik jako je konvenční a cyklická nanoindentace. Vrypový test byl použit pro charakterizaci vlastností adheze vrstev. Jednovrstvé filmy připravené za různých depozičních podmínek byly charakterizovány s ohledem na povrchové morfologie a mechanické vlastností (modul pružnosti, tvrdost). Výsledky morfologie povrchu, analýzy zrn, nanoindentace, analýzy konečných prvků a modulů mapování pomohly rozlišit hybridní charakter filmů, které byly deponovány při vyšších výkonech RF-výboje. Nový přístup byl použit v povrchové charakterizaci vícevrstvého filmu pomocí rastrovací sondové mikroskopie a nanoindentace. Adhezívní chování plazmaticky polymerizovaných vrstev různých mechanických vlastností a tloušťek bylo analyzováno pomocí normálních a laterálních síl, koeficientu tření, a snímků vrypů získaných pomocí mikroskopie atomárních sil.
|
|
|
Preparation of sample cross-sections and analysis by SIMS
Karlovský, Juraj ; Pechal, Radim (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
This thesis studies possible methods of semiconductor sample measurement by SIMS, with emphasis on testing different measurement parameters and sample preparation. Part of this master thesis deals with the design of a modified sample holder compatible with the used ToF-SIMS$^{5}$ instrument, IONTOF company, which is capable of tilting the sample by defined angle. This holder enables sample preparation in the main chamber of the instrument without the need of transferring the sample between instruments, which limits the probability of sample contamination. This sample holder was tested by ion machining of TIGBT sample edge and by imaging of a crater edge, created in previous measurement. Edge termination structures prepared by different techniques were measured on the TIGBT samples. Further measurements with the goal of optimizing the depth resolution for thin layers were done on Molybdenum-Silicon-multilayer X-Ray Mirror. Part of the measurements was focused on comparing depth profiles measured at low temperatures. For these measurements the samples with Indium multilayers in GaN substrate were used.
|
|
|
Study of Thin-Film Surfaces
Trivedi, Rutul Rajendra ; Fejfar, Antonín (referee) ; Klapetek, Petr (referee) ; Šikola, Tomáš (referee) ; Čech, Vladimír (advisor)
Disertační práce se zabývá studiem povrchových vlastností jedno a vícevrstvých filmů deponovaných z vinyltriethoxysilanových a tetravinylsilanových monomerů. Zabývá se také charakterizací adheze jednovrstvých filmů z tetravinylsilanu. Plazmaticky polymerizované tenké vrstvy byly připraveny na leštěných křemíkových substrátech pomocí plazmové depozice z plynné fáze za ustálených podmínek. Povrchové vlastnosti vrstev byly charakterizovány pomocí různých metod rastrovací sondové mikroskopie a nanoindentačních technik jako je konvenční a cyklická nanoindentace. Vrypový test byl použit pro charakterizaci vlastností adheze vrstev. Jednovrstvé filmy připravené za různých depozičních podmínek byly charakterizovány s ohledem na povrchové morfologie a mechanické vlastností (modul pružnosti, tvrdost). Výsledky morfologie povrchu, analýzy zrn, nanoindentace, analýzy konečných prvků a modulů mapování pomohly rozlišit hybridní charakter filmů, které byly deponovány při vyšších výkonech RF-výboje. Nový přístup byl použit v povrchové charakterizaci vícevrstvého filmu pomocí rastrovací sondové mikroskopie a nanoindentace. Adhezívní chování plazmaticky polymerizovaných vrstev různých mechanických vlastností a tloušťek bylo analyzováno pomocí normálních a laterálních síl, koeficientu tření, a snímků vrypů získaných pomocí mikroskopie atomárních sil.
|
guest ::
