|
|
Naprašování nitridových vrstev pro bioelektronické aplikace pomocí Kaufmanova iontového zdroje
Jarušek, Jaromír ; Chmela, Ondřej (oponent) ; Gablech, Imrich (vedoucí práce)
Tato práce se věnuje nitridovým vrstvám, jejich aplikacím v biomedicíně a depozicí chemickými metodami depozice z plynné fáze a fyzikálními metodami depozici z plynné fáze. Zaměřuje se především na přípravu tenkých vrstev nitridu titanitého reaktivním naprašováním s využitím dvou Kaufmanových zdrojů iontů. Vrstvy byly deponovány na křemíkové wafery a podložní mikroskopická sklíčka. Nadeponované vrstvy nitridu titanitého jsou charakterizovány rentgenovou difrakční analýzou, čtyřbodovou metodou měření vrstvového odporu a měřením křivosti pro zbytkové pnutí.
|
|
|
Reaktivní naprašování vrstev Al2O3
Dušek, Jan ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Fořt, Tomáš (vedoucí práce)
Diplomová práce popisuje technologii pulzního magnetronového naprašování vrstev Al2O3. Dále se tato práce zabývá návrhem depozičního procesu a jeho testováním pro nový hliníkový terč. Testováním bylo určeno technologické okno nového terče. Díky tomu bylo možné vytvořit vrstvy Al2O3 v nejširším možném pracovním rozmezí. Vrstvy vytvořené pomocí aparatury PLS 160 byly podrobeny testování optických vlastností pro získání propustnosti vrstvy. Kromě optických testů bylo provedeno vyhodnocení mechanických vlastností a adheze. Získané výsledky z jednotlivých měření byly vyhodnoceny. Podle získaných výsledků vlastností vrstev byl proveden návrh potenciálních aplikací, pro které by bylo možné vrstvu použít.
|
|
|
Naprašování nitridových vrstev pro bioelektronické aplikace pomocí Kaufmanova iontového zdroje
Jarušek, Jaromír ; Chmela, Ondřej (oponent) ; Gablech, Imrich (vedoucí práce)
Tato práce se věnuje nitridovým vrstvám, jejich aplikacím v biomedicíně a depozicí chemickými metodami depozice z plynné fáze a fyzikálními metodami depozici z plynné fáze. Zaměřuje se především na přípravu tenkých vrstev nitridu titanitého reaktivním naprašováním s využitím dvou Kaufmanových zdrojů iontů. Vrstvy byly deponovány na křemíkové wafery a podložní mikroskopická sklíčka. Nadeponované vrstvy nitridu titanitého jsou charakterizovány rentgenovou difrakční analýzou, čtyřbodovou metodou měření vrstvového odporu a měřením křivosti pro zbytkové pnutí.
|
|
|
Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films
Zanáška, Michal ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Dvořák, Pavel (oponent) ; Straňák, Vítězslav (oponent)
Tato disertační práce se zabývá experimentálním studiem několika metod pro diagnostiku plazmatu a diagnostiku tenkých vrstev deponovaných během re- aktivního naprašování. Studována je relativně nová sondová diagnostická me- toda, takzvaná plovoucí harmonická sonda (floating harmonic probe), určená pro měření iontové koncentrace a elektronové teploty v nízkoteplotním technolo- gickém plazmatu. Běžně je používána klasická Langmuirova sonda, ale jejípoužití v podmínkách, kdy jsou naprašovány nevodivé vrsty, může být problematické nebo nespolehlivé. Měřící metoda plovoucí harmonické sondy řeší tento problém klasické Langmuirovy sondy. Výsedky z měření plovoucí harmonickou sondou jsou porovnány s měřením Langmuirovou sondou při nereaktivních podmínkách v kontinuálně buzeném stejnosměrném výboji a je ověřena její funkčnost i během reaktivních podmínek během depozice tenkých vrstev oxidu železa. Tato práce se zaměřuje také na modifikaci metody plovoucíharmonické sondy známou jako PD- HAM (phase delay harmonic analysis method) určenou pro diagnostiku pulzních výbojů. Druhá část práce se věnuje nově navržené metodě pro in-situ diagnostiku tenkých vrstev. Pomocítéto metody může být určena kapacita a...
|
|
|
Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films
Zanáška, Michal ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Dvořák, Pavel (oponent) ; Straňák, Vítězslav (oponent)
Tato disertačnı́ práce se zabývá experimentálnı́m studiem několika metod pro diagnostiku plazmatu a diagnostiku tenkých vrstev deponovaných během re- aktivnı́ho naprašovánı́. Studována je relativně nová sondová diagnostická me- toda, takzvaná plovoucı́ harmonická sonda (floating harmonic probe), určená pro měřenı́ iontové koncentrace a elektronové teploty v nı́zkoteplotnı́m technolo- gickém plazmatu. Běžně je použı́vána klasická Langmuirova sonda, ale jejı́použitı́ v podmı́nkách, kdy jsou naprašovány nevodivé vrsty, může být problematické nebo nespolehlivé. Měřı́cı́ metoda plovoucı́ harmonické sondy řešı́ tento problém klasické Langmuirovy sondy. Výsedky z měřenı́ plovoucı́ harmonickou sondou jsou porovnány s měřenı́m Langmuirovou sondou při nereaktivnı́ch podmı́nkách v kontinuálně buzeném stejnosměrném výboji a je ověřena jejı́ funkčnost i během reaktivnı́ch podmı́nek během depozice tenkých vrstev oxidu železa. Tato práce se zaměřuje také na modifikaci metody plovoucı́harmonické sondy známou jako PD- HAM (phase delay harmonic analysis method) určenou pro diagnostiku pulznı́ch výbojů. Druhá část práce se věnuje nově navržené metodě pro in-situ diagnostiku tenkých vrstev. Pomocı́této metody může být určena kapacita a...
|
|
|
Reaktivní naprašování vrstev Al2O3
Dušek, Jan ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Fořt, Tomáš (vedoucí práce)
Diplomová práce popisuje technologii pulzního magnetronového naprašování vrstev Al2O3. Dále se tato práce zabývá návrhem depozičního procesu a jeho testováním pro nový hliníkový terč. Testováním bylo určeno technologické okno nového terče. Díky tomu bylo možné vytvořit vrstvy Al2O3 v nejširším možném pracovním rozmezí. Vrstvy vytvořené pomocí aparatury PLS 160 byly podrobeny testování optických vlastností pro získání propustnosti vrstvy. Kromě optických testů bylo provedeno vyhodnocení mechanických vlastností a adheze. Získané výsledky z jednotlivých měření byly vyhodnoceny. Podle získaných výsledků vlastností vrstev byl proveden návrh potenciálních aplikací, pro které by bylo možné vrstvu použít.
|
host ::
RSS.