|
|
Nekonvenční způsoby dělení materiálů
Rusz, Radek ; Mrňa, Libor (oponent) ; Podaný, Kamil (vedoucí práce)
Bakalářský projekt obsahuje literární studii o nekonvenčních způsobech dělení materiálu. Práce je zaměřena na technologie dělení materiálu vodním parskem, plazmou, laserem, ultrazvukem a svazkem elektronů. Metody jsou zpracované z hlediska fyzikálního principu a použití v průmyslu. Jsou zde uvedena technologická zařízení pro jednotlivé metody, včetně zhodnocení jejich parametrů. V práci je vypracováno srovnání všech metod z hlediska produktivity a kvality zpracování materiálu, posouzení jejich výhod, nevýhod a vhodnosti pro malo- nebo velkosériovou výrobu.
|
|
|
Nekonvenční způsoby dělení materiálů
Kulenda, Martin ; Mrňa, Libor (oponent) ; Podaný, Kamil (vedoucí práce)
Bakalářská práce shrnuje poznatky o nekonvenčních způsobech dělení materiálů. V práci jsou rozebrány pouze v praxi nejpoužívanější a nejvhodnější metody. Mezi popsané metody patří dělení materiálů laserem, plazmou, vodním paprskem, paprskem elektronů a ultrazvukem. U každé z uvedených metod je popsán princip technologie a současná technologická zařízení sloužící k dělení materiálů v průmyslu. Práce srovnává jednotlivé metody z hlediska jejich výhod a nevýhod při dělení různých typů materiálů, dále pak vhodnost použití těchto metod v malosériové či velkosériové výrobě.
|
|
| |
|
|
Electron vortex beam
Müllerová, Ilona ; Řiháček, Tomáš
Vortex electromagnetic waves contain a phase singularity along their propagation direction and are formed by the spiralling wave fronts that give rise to angular momentum in that direction. Vortex photon beams are widely used optical tweezers to manipulate micrometre-sized perticles, as optical micro motors etc.
|
|
|
Analysis of electron current instability in E-beam writer
Bok, Jan ; Horáček, Miroslav ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, František
The electron beam writer Tesla BS600 works with a thermal-field electron emitter, fixed electron energy of 15 keV and a rectangular shaped variable-size electron beam. The size of the shaped beam (stamp) can be set from 50 to 6300 nm in standard mode and from 16 to 2100 nm in high-resolution mode. The basic increment of the stamp size is 50 nm, resp. 16 nm. Electron current density inhomogeneity and long-term instability in stamps can have negative impact on the exposure quality. Therefore, we focused on a study of the current time instability. The current density in variously sized stamps was measured by a picoammeter and a PIN diode video channel as a function of time. We analyzed short-term and long-term current instabilities using filtering techniques, as well as the Fourier analysis. Based on the results, we could be able to find reasons of the current instabilities and to propose improvements to achieve higher exposure quality.
|
|
|
Electron beam cutting of non-metals
Dupák, Libor
Various materials are difficult to cut or drill, e.g. due to their mechanical properties (hardness, fragility). Also, sometimes the required hole shape and dimensions may be difficult to obtain by mechanical machining or the efficiency of such process is low. Electron beam machining is one way to overcome these issue. It is based on the melting and evaporation of the material by the intense electron beam. The presented experiments were performed on the desktop electron beam welder MEBW-60/2, developed at the Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i. at Brno. It is also manufactured and sold by the Focus GmbH company under licence. In the following experiments, several sets of grooves were prepared, both in quartz glass and AI2O3 ceramics, to find out the influence of various beam parameters on groove dimensions. The experimental conditions were as follows: acceleration voltage 50 kV, beam current 0.1-1 mA, machining speed 2.5-50 mnvs'1.
|
|
| |
|
|
Mikroobrábění elektronovým svazkem
Zobač, Martin
Práce se zabývá problematikou odstraňování materiálu pomocí intenzívního elektronového svazku (ES) ve vakuu. Hlavním cílem je studium interakce ES s kovovými a případně i nekovovými materiály. Nedílnou součástí je příprava experimentálního zařízení, jeho vakuové části a elektronového děla. Nutné bude vytvoření unikátní elektroniky, především VN zdroje, umožňujícího impulsní provoz elektronového děla.
|
|
|
Dispersion and detection of signal electrons in environmental SEM
Romanovský, V. ; Neděla, Vilém ; Hutař, O.
The environmental scanning microscope is based on convenient adaptation of classical SEM employing the focused primary electron beam. For the proper function of the electron gun the pressure in this part of the microscopemust be less than 10.sup.-3./sup. Pa. The working pressure in the specimen chamber in environmental microscope reaches the order of hundreds of Pa.Therefore, the effective vacuum separation of these two parts is necessary. This can be obtained by the use of two or more apertures limiting the gas flow. It is also necessary to evacuate the space between the apertures by a vacuum pump of a high pumping speed. The increasing of pressure in the specimen chamber brings some difficulties, especially the dispersion of signal electrons by the influence of interaction with the gaseous environment.
|
|
| |
host ::
RSS.