keywords:"anisotropic Silicon etching" - Výsledky hledání - Digitální repozitář

host :: přihlásit Digitální repozitář
		Hledej		Nový záznam		Nápověda		O repozitáři

Hlavní stránka > Výsledky hledání: keywords:"anisotropic Silicon etching"

Hledej:

Tipy pro vyhledávaní :: Rozšířené hledání

Hledej ve sbírkách:

Seřadit podle:	Zobrazit výsledky:	Výstupní formát:

	Výroba membrán pomocí anizotropního leptání křemíku Balajka, Jan ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Urbánek, Michal (vedoucí práce) Bakalářská práce se zabývá přípravou membrán z oxidu křemičitého (SiO2) na křemíkovém (Si) substrátu pomocí anizotropního leptání křemíku. Masky pro anizotropní leptání křemíku byly vytvořeny pomocí elektronové litografie a chemického leptání SiO2. V práci jsou popsány jednotlivé kroky postupu přípravy membrán včetně použitých experimentálních podmínek. Za účelem optimalizace pracovního postupu bylo provedeno několik měření rychlosti leptání Si/SiO2 v různých roztocích. Výsledky těchto měření jsou zde rovněž uvedeny. Připravené membrány byly charakterizovány pomocí optické mikroskopie, rastrovací elektronové mikroskopie a spektroskopické reflektometrie. Součástí práce je i popis metod použitých pro přípravu a analýzu definovaných struktur připravených pomocí anizotropního leptání křemíku. Úplný záznam
	Výroba membrán pomocí anizotropního leptání křemíku Balajka, Jan ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Urbánek, Michal (vedoucí práce) Bakalářská práce se zabývá přípravou membrán z oxidu křemičitého (SiO2) na křemíkovém (Si) substrátu pomocí anizotropního leptání křemíku. Masky pro anizotropní leptání křemíku byly vytvořeny pomocí elektronové litografie a chemického leptání SiO2. V práci jsou popsány jednotlivé kroky postupu přípravy membrán včetně použitých experimentálních podmínek. Za účelem optimalizace pracovního postupu bylo provedeno několik měření rychlosti leptání Si/SiO2 v různých roztocích. Výsledky těchto měření jsou zde rovněž uvedeny. Připravené membrány byly charakterizovány pomocí optické mikroskopie, rastrovací elektronové mikroskopie a spektroskopické reflektometrie. Součástí práce je i popis metod použitých pro přípravu a analýzu definovaných struktur připravených pomocí anizotropního leptání křemíku. Úplný záznam
	SMV-2012-12: Testovací preparát pro SEM Matějka, Milan ; Kolařík, Vladimír ; Urbánek, Michal ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Horáček, Miroslav ; Král, Stanislav Výzkum a vývoj v oblasti přípravy testovacích struktur reliéfního typu na křemíkovém čipu. Využití pro testování metriky elektronových rastrovacích mikroskopů a kalibrací zorného pole. Čip je připraven pomocí elektronové litografie a dalších technik. Úplný záznam
	SMV-2012-01: Testovací preparát pro SEM Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Urbánek, Michal ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Horáček, Miroslav ; Král, Stanislav Výzkum a vývoj v oblasti přípravy testovacích struktur reliéfního typu na křemíkovém substrátu. Využití pro testování metriky (rozměrů a ortogonality) elektronových rastrovacích mikroskopů a pro kalibraci zorného pole mikroskopu. Vzorky jsou připraveny hromadně na křemíkovém substrátu pomocí elektronové litografie a souvisejících technik, a dále dokončeny individuálními operacemi na úrovni jednotlivých čipů. Související výzkum a vývoj v oblasti kontroly a validace přesnosti a tolerance mikro rozměrů; kalibrační certifikát. Úplný záznam

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.

Digitální repozitář :: :: :: ::
Powered by v1.1.2
Spravuje

Tato stránka je dostupná také v následujících jazycích:
Česky English